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圓度儀1949年出現(xiàn)于英國(guó),起初只帶有記錄器,由人工根據(jù)記錄圖形計(jì)算圓度誤差。60年代開始采用模擬電子計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,并以最小二乘圓法計(jì)算圓度誤差,70年代采用數(shù)字電子計(jì)算機(jī),可以最小二乘圓法、最小外接圓法、最大內(nèi)接圓法和最小區(qū)域法等評(píng)定圓度誤差,并能自動(dòng)找正中心,補(bǔ)償由于安裝偏心引起的測(cè)量誤差等。傳感器回轉(zhuǎn)式圓度儀結(jié)構(gòu)復(fù)雜,但精密軸系不受被測(cè)件重量影響,測(cè)量精確度較高,適宜于測(cè)量較重工件。
工作臺(tái)回轉(zhuǎn)式圓度儀結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,但精密軸系受被測(cè)件重量載荷后會(huì)影響回轉(zhuǎn)精度,故適用于測(cè)量較輕工件。圓度儀精密軸系的回轉(zhuǎn)精度可達(dá)0.025微米,采用誤差分離法,利用電子計(jì)算機(jī)自動(dòng)補(bǔ)償精密軸系的系統(tǒng)誤差,并采用多次測(cè)量方法減小偶然誤差,可將測(cè)量精確度提高到0.005微米。
圓度儀