作為精密的檢測(cè)儀器，三坐標(biāo)測(cè)量儀的測(cè)量方向?yàn)閄YZ軸（橫縱高三個(gè)方向），二次元的測(cè)量方向?yàn)閄/Y軸（橫縱向），通常而言三坐標(biāo)測(cè)量儀是氣動(dòng)設(shè)備、其精度會(huì)比二次元高一些（二次元也有氣動(dòng)的,但價(jià)格高很多），其價(jià)格、重量方面也高于二次元，普通的機(jī)械導(dǎo)軌二次元價(jià)格大概在三到五萬左右,氣動(dòng)的大概在20萬左右,三坐標(biāo)測(cè)量儀的話要更貴。三坐標(biāo)測(cè)量儀在很多范圍都有應(yīng)用，同時(shí)也可以測(cè)量工件的許多參數(shù)。

三坐標(biāo)測(cè)量儀

三坐標(biāo)測(cè)量儀由標(biāo)尺系統(tǒng)和測(cè)頭系統(tǒng)構(gòu)成，它們是三坐標(biāo)測(cè)量儀的關(guān)鍵組成部分，決定著CMM測(cè)量精度的高低。是集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)及控制技術(shù)于一身的復(fù)雜的測(cè)量系統(tǒng)，因此影響其測(cè)量結(jié)果不確定的因素較多，但對(duì)于中、小型坐標(biāo)來說，環(huán)境溫度偏離標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量溫度（20℃）是影響其測(cè)量結(jié)果不確定度的主要因素。為了使三坐標(biāo)能夠測(cè)出準(zhǔn)確的結(jié)果，應(yīng)將環(huán)境溫度嚴(yán)格地控制在坐標(biāo)機(jī)說明書要求的范圍內(nèi)。

在三坐標(biāo)測(cè)量儀的高精密測(cè)量中，微小的熱量也會(huì)影響精度的穩(wěn)定性，而當(dāng)出氣孔的孔徑小于一定的直徑的時(shí)候，卻會(huì)相反的會(huì)在出氣孔的周圍形成冷凝效應(yīng)，正是利用這一物理學(xué)原理，三坐標(biāo)測(cè)量儀采用歐潼小孔出氣的技術(shù)，使得冷凝效應(yīng)恰恰抵消測(cè)量中因?yàn)榭諝饽Σ廉a(chǎn)生的微弱熱量，使得設(shè)備保持長時(shí)間的溫度穩(wěn)定性。測(cè)量機(jī)的采點(diǎn)發(fā)訊裝置是測(cè)頭，在沿X，Y，Z三個(gè)軸的方向裝有光柵尺和讀數(shù)頭。其測(cè)量過程就是當(dāng)測(cè)頭接觸工件并發(fā)出采點(diǎn)信號(hào)時(shí)，由控制系統(tǒng)去采集當(dāng)前機(jī)床三軸坐標(biāo)相對(duì)于機(jī)床原點(diǎn)的坐標(biāo)值，再由計(jì)算機(jī)系統(tǒng)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理。